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氧氣
 

Colorless, odorless, tasteless gas 無色、無嗅、無味氣體
Formula(分子式):O2
Molecular weight(分子量):32
Boiling point(沸點):-183℃
Melting point(融點):-218℃
Vapor Pressure(蒸汽壓):不適用
Specific Volume(比容):12.08 ft3/lb(0.7540 m3/kg)在70 ℉(21℃)
UN Number(UN號碼):UN 1072
DOT Classification(DOT類別):2.2 (不燃燒氣體)
DOT Label(DOT標簽):不可燃氣體
Cylinder Connection(鋼瓶接口):CGA540
Grsde(級別):5N
Purity(純度):99.999%
Impurity(非組分) Specification(標準)
Argon 氬氣 <3.0 ppmv
Nitrogen 氮氣 <5.0 ppmv
Carbon Monoxide 一氧化碳 <0.5 ppmv
Carbon Dioxide 二氧化碳 <0.5 ppmv
Total Hydrocarbon 碳氫化合物 <0.2 ppmv
Moisture 水 <0.5 ppmv
Krypton 氪氣 <2.0 ppmv

 

 

   
 
工業氧(GB/T3863-2008)    
項目名稱 指標  
 
氧(O2)含量(體積分數)/10-2           ≥ 99.5 99.2  
水(H2O) 無游離水  
       
純氧、高純氧、超純氧(GB/T14599-2008)      
項目名稱 指標
超純氧 高純氧 純氧
氧氣(O2)的體積分數/10-2               ≥ 99.9999 99.999 99.995
氫氣(H2)的體積分數/10-6              ≤ 0.1 0.5 1
氬(Ar)的體積分數/10-6               ≤ 0.2 2 10
氮(N2)的體積分數/10-6                ≤ 0.1 5 20
總烴含量(以甲烷計)/10-6             ≤ 0.1 0.5 2
二氧化碳含量/10-6                     ≤ 0.1 0.5 1
水分/10-6                            ≤ 0.5 2 3
注:表中純度和含量均以體積分數表示(V/V)。

 

應用:氧氣一般用作集成電路芯片封裝工藝中的等離子氣源 / 爐室清洗

【2012/2/28】 【關閉】
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